真空回火爐是供一般金屬機件在空氣中進行回火以及鋁合金壓鑄件、活塞、鋁板等輕合金機件淬火、退火、時效熱處理之用。外殼有鋼板和型鋼焊接而成，臺車由型鋼及鋼板焊接，臺車通過與爐襯的軟接觸和沙封機構來減少熱輻射及對流損失，有效保證爐體密封性。
真空回火爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫的環境下工作，因此在選材時候都是有要求，起碼可以耐高溫、蒸氣壓低、導熱系數小等，但對抗氧化性能要求不高。所以真空回火爐在選材時候，一般是選擇鉭、鎢、鉬和石墨等作為加熱與隔熱構料。這些材料是比較符合真空回火爐的使用的。
金屬零件進行真空熱處理都在在密閉的真空回火爐內進行，這樣得到和保持爐子原定的漏氣率，保證真空回火爐的工作真空度，因為確保零件在真空熱處理中的質量是非常重要的，不能有一點疏忽。所以選擇真空回火爐的關鍵因素，就是要有牢固的真空密封結構，為了保證真空回火爐的真空性能。
在真空回火爐內，當真空空度達到一定范圍內且真空容器內的通電導體在較高的電壓下，會產生輝光放電現象。嚴重的會產生弧光放電，這樣就會燒毀許多零部件，造成重大事故和損失。
因此，真空回火爐的電熱元件的工作電壓，一般都不超過80－100伏。同時在電熱元件結構設計時要采取有效措施，如盡量避免有些部件，電極間的間距不能太小窄，以防止輝光放電或者弧光放電的發生。
真空回火爐的自動化在進行金屬工件的加熱、冷卻等操作，是需要十幾個甚至幾十個動作來完成。有些動作內在真空回火爐內進行，操作人員無法接近。甚至有些動作如加熱保溫結束后，金屬工件進行淬火工序須六個動作并且要在15秒鐘以內完成。
