真空回火爐可供一般金屬機件在空氣中進行回火以及鋁合金壓鑄件、活塞、鋁板等輕合金機件淬火、退火、時效熱處理之用。外殼有鋼板和型鋼焊接而成，臺車由型鋼及鋼板焊接，臺車通過與爐襯的軟接觸和沙封機構來減少熱輻射及對流損失，有效保證爐體密封性。
真空回火爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫的環境下工作，因此在選材時候都是有要求，起碼可以耐高溫、蒸氣壓低、導熱系數小等，但對抗氧化性能要求不高。所以真空回火爐在選材時候，一般是選擇鉭、鎢、鉬和石墨等作為加熱與隔熱構料。這些材料是比較符合真空回火爐的使用的。
真空回火爐的爐殼、爐蓋、電熱元件、中間真空隔熱門等部件，基本都在真空和受熱狀態下工作。長時間在這種環境工作的部件，要保證各部件的結構不會發生變形、不輕易損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因此為了更好的保護各部件的正常使用，在根據各個部件的不同情況設置水冷裝置，以保證真空回火爐能夠正常運行并且能夠長時間運行。
在真空回火爐內，當真空空度達到一定范圍內且真空容器內的通電導體在較高的電壓下，會產生輝光放電現象。嚴重的會產生弧光放電，這樣就會燒毀許多零部件，造成重大事故和損失。
因此，真空回火爐的電熱元件的工作電壓，一般都不超過80－100伏。同時在電熱元件結構設計時要采取有效措施，如盡量避免有些部件，電極間的間距不能太小窄，以防止輝光放電或者弧光放電的發生。
