真空熱處理即真空技藝與熱處理兩個專門相融合的綜合技藝，是指熱處理工藝的所有和部分在真空形態下進行的。真空熱處理爐熱效率高，可完成迅速升柔順降溫，可完成無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而抵達表面光亮凈化的功效。
真空熱處理爐的重要性：
真空熱處理爐是指在接近真空狀態下通過電熱元件加熱的工業爐。真空熱處理爐冷卻系統是真空熱處理爐的重要部分。冷卻水路應保持暢透，否則水溫升高造成停機。這是真空熱處理爐工作時常被忽視的問題當無人管理時可能會導致真空熱處理爐的重大毀壞。
真空熱處理爐鉬加熱體長時間使用以后會呈現變硬、收縮、下墜、先倒伏搭接、后熔斷(融)等現象。為使真空熱處理爐加熱絲在高溫下存在必要的強度，防行硬化、倒塌或下垂，首先要設計真空熱處理爐加熱絲的構造尺寸，如螺旋形電阻絲，要注意加熱元件彎徑、螺距和螺旋中徑等。加熱體快要松靠真空熱處理爐保溫襯，在保溫襯擱上95陶瓷件，恰當留有其膨脹空間。擱置位置要適合，一般在100～200mm一個，并能堅固鉤住防止電阻絲趴上。此外應避免爐絲互相之間直接接觸（短路），一般要墊隔離片。
用生物分解化學輔助方法處理冷卻水，目的是保持礦物質呈懸浮態，減少橡皮管、蛇形管和水套內沉淀物累積，以使水流暢通。這一般采用一種自動裝置來完成，它可以監測水的導電性，自動補充化學劑，沖冼水路，添加新鮮水。與附屬蒸氣過濾系統配合，這種方法還可以保證水的pH值控制，防止在冷卻水系統中多余礦物質沉積。在系統工作穩定后，至少應每月一次進行水質試驗以防過處理或欠過理。
真空回火爐外殼和熱交換器材料的試驗樣品也應放在水路系統中，每年做一次重量損失檢驗以檢查處理的效果。對擴散泵的蛇形管冷卻器必須特別注意。應該經常檢查。如果堵塞了，擴散泵將會過熱并喪失功能，而且還進一步引起擴散泵加熱器燒毀，造成昂貴的、費時的修理。當蛇形冷卻水管堵塞時，將水路同水源斷開，排水并用壓縮空氣吹通或用稀醋酸溶液沖洗。
